作为一家领军的金刚石薄膜产品、设备及服务供应商，美国SP3公司近日宣布其CVD（化学气相沉积）加工能力得以进一步拓展，现可提供从表面粗糙度低于10纳米的超光滑纳米晶金刚石到表面粗糙度达10微米以上的可控微米晶金刚石产品。此外，SP3公司的Model 650化学气相沉积生长设备还可满足部分企业自行生产金刚石涂层产品的需求。  

    SP3公司的超光滑金刚石可理想地应用在耐磨表面包括密封及轴承等场合，微米晶金刚石薄膜则非常适合应用在化学机械抛光领域。这两种CVD金刚石膜产品均适用在条件恶劣以及对环境有苛刻要求的场合，它们从中表现出的高硬度、低摩擦系数、高耐磨性以及出色热导率超过其他任何材料。 

    “SP3公司向市场提供独特的解决方案，这得益于我们制造可以满足这些应用要求的沉积设备”，SP3金刚石技术部总裁兼首席运营官德韦恩艾达拉如是说，“这样客户就可以利用我们的涂层技术优势，或者购买我们的沉积设备，在他们的生产工序中生长超光滑或者粗糙度可控的金刚石涂层。我们在交付沉积设备时提供的经验意味着客户通常会得到现有的技术诀窍，这将使他们生长出的金刚石材料的性能特点能够满足特定需求。” 

    利用SP3公司化学气相沉积设备生长出的超光滑金刚石可理想用于对材料具有苛刻要求的多种耐磨表面比如接触以及非接触的涂层密封以及水系统。  

    当前，晶圆制造业正向着22纳米以及高腐蚀磨料（包括铜和钨）加工环境下的更小几何尺寸方向发展，而粗糙度可控的金刚石则正在发展为一种用于化学机械抛光的新型材料。  

    经过金刚石涂层的表面能够更好地承受上述两类应用中的严酷的化学条件，无论是泥浆泵还是热水环境，无论是存在较差的润滑还是带有铜或钨的腐蚀性化学机械抛光环境。在这些场合下，金刚石材料极高的硬度及抗化学腐蚀性大大延长了产品的使用寿命。  

    通过使用SP3公司工艺来精确控制金刚石生长以及薄膜特性的能力可实现在碳化硅等衬底上生长特定晶粒尺寸及晶向的金刚石材料，由此降低了接触表面的摩擦热，进一步延长使用寿命并降低失效。该薄膜还可以在硬质合金、硅、碳化钨以及石墨等许多其它衬底材料上沉积生长。